变更内容及规模：①试运行期间重新核算，产品规模由 3.6 万半导体石英坩埚只变更为 2.6 万只。②由于产品要求不同，部分产品酸洗效果未能达预期目标。本次变更增加酸的种类和用量。其中一条生产线保持氢氟酸酸洗，另一条酸洗生产线变更为氢氟酸和硫酸混合后酸洗，并且增大氢氟酸用量。③将旋风除尘+1 根 15m 高排气筒改为 4 套旋风+布袋组合式除尘器+4 根18m 高排气筒排放。

附件1：半导体石英坩埚建设项目（变更）生态环境影响报告表（公示版）.pdf16.0 MB, 下载次数1