感应耦合等离子体刻蚀机-公开招标公告
(招标编号：5563-266ZCG270772)
招标项目所在地区：湖北省
一、招标条件
本感应耦合等离子体刻蚀机（招标项目编号：5563-266ZCG270772），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为自筹，招标人为中国船舶工业贸易有限公司。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目规模：1套。
招标内容与范围：/
本招标项目划分为标段1个标段，本次招标为其中的：
001 第1包
三、投标人资格要求
001 第1包：
见公告
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间：2026年11月03日09时00分00秒---2026年11月10日23时59分59秒
获取方法：见公告
五、投标文件的递交
递交截止时间：2026年11月24日09时00分00秒
递交方法：见公告
六、开标时间及地点
开标时间：2026年11月24日09时00分00秒
开标地点及方式：见公告
七、其他公告内容
日期：2026年11月3日
招标编号：5563-266ZCG270772
中船编号：CSSC-07-261081-004
项目名称：感应耦合等离子体刻蚀机
中招工业发展（北京）有限公司受中国船舶工业贸易有限公司委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2026年11月3日发布招标公告。本次招标采用线下招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1.招标条件
1.1项目概况：采购感应耦合等离子体刻蚀机1套，感应耦合等离子体刻蚀机用于对半导体晶圆进行干法刻蚀微纳加工，从而制作出设计好的波导结构图案。其刻蚀过程是化学反应和物理轰击过程所共同作用的结果，其内部包括两套射频电源，其中一套与腔室外缠绕的螺线圈相连，使线圈产生感应耦合电场，腔室内的刻蚀气体在此电场作用下辉光放电产生高密度等离子体；另一套与腔室内放置石英平台和样品的下方电极相连，用于产生偏置电压，对等离子体进行加速使其定向作用于样片表面，并将发生化学反应产生挥发性的气体，经过排气口排出，完成样片刻蚀。感应耦合等离子体刻蚀机对晶圆芯片结构加工具有速率快、精度高、表面粗糙度小的优点。感应耦合等离子体刻蚀机将用于铌酸锂光调制芯片研制过程中刻蚀光波导、光栅等结构。
1.2资金到位或资金来源落实情况：资金来源已落实。
1.3项目已具备招标条件的说明：已具备招标条件。
2.招标内容
2.1项目实施地点：武汉市指定地点，使用人：华中光电技术研究所
2.2招标产品列表：
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 交货期 | 交付地点 |
| 1 | 感应耦合等离子体刻蚀机 | 1套 | 合同生效后10个月内，卖方以安全的包装和运输方式将货物运抵买方指定的场所 | CIP用户使用现场 |
2.3简要技术规格：刻蚀铌酸锂速率：≥50nm/min。
3.投标人资格要求`
3.1投标人应具备的资格或业绩：详见投标资料表13.3条款。
3.2是否接受联合体投标：否。
3.3本次招标接受代理商投标，如是代理商投标需提供有效的授权证明。
3.4未在中招工业发展（北京）有限公司登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。
4.招标文件的领购
4.1、招标文件发售期：2026年11月3日至2026年11月10日，全天（北京时间，下同）；
4.2、凡有意参加投标者，请按如下步骤操作：
（1）服务费：报名成功后，登录中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn）购买并下载招标文件，现场不予受理；招标文件电子版每套售价0元，中招联合招标采购平台收取服务费200元，售后不退。登录中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn）注册会员，在公告栏中寻找有意向参与的项目，点击公告右上角“我要参与”并在线支付标书费完成下载流程，如有采购平台问题请联系客服400 903 3175。（注：服务费发票按照投标人在中招联合招标采购平台注册信息由平台运营方开具，请自行下载电子发票，代理机构不收取任何费用）
5.投标文件的递交
5.1投标截止时间（开标时间）：2026年11月24日上午9:00（北京时间）
5.2投标文件送达地点：武汉市武昌区张之洞路国控紫阳广场B座18层会议中心
5.3开标地点：武汉市武昌区张之洞路国控紫阳广场B座18层会议中心
6.发布公告的媒体
6.1本公告在《中国国际招标网》《中招联合电子采购平台》《中国招标投标公共服务平台》《中国船舶电子招标投标平台》上发布。
6.2接受异议部门联系人:周老师电话:010-87139717。八、监督部门
本招标项目的监督部门为中国船舶集团有限公司。
九、联系方式
招标人：中国船舶工业贸易有限公司
地址：北京市海淀区中关村南大街乙56号方圆大厦
联系人：刘婧超
电话：010-88573048
电子邮件：/
招标代理机构：中招工业发展（北京）有限公司
地址：北京市海淀区皂君庙14号院9号楼1至5层全部
联系人：周天维
电话：010-87139717
电子邮件：zhoutianwei@cntcidc.com
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）
招标人或其招标代理机构：_______________（盖章）
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